2026年多晶体制取工专项题库.pdf

多晶体制取工专项题库

一、单选题(只有一个正确答案)

1.多晶硅生产中,三氯氢硅氢化反应的主要产物是?

A.单晶硅

B.多晶硅

C.四氯化硅

答案:B

解析:三氯氢硅(SiHCI3)在特定温度和压力下进行氢化反应,利用硅的自扩散机

制,将低品位的二氯氢硅和四氯化硅还原为高品位的单晶硅,最终析出粉末状的多

晶硅。

2.在多晶硅生产的三氯氢硅氢化(流化床法)工艺中,最常用的还原剂是?

A.氢气(H2)

B.氧气(02)

C.氮气(N2)

答案:A

解析:氢化反应是将SiHCI3与H2按

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