多晶体制取工专项题库
一、单选题(只有一个正确答案)
1.多晶硅生产中,三氯氢硅氢化反应的主要产物是?
A.单晶硅
B.多晶硅
C.四氯化硅
答案:B
解析:三氯氢硅(SiHCI3)在特定温度和压力下进行氢化反应,利用硅的自扩散机
制,将低品位的二氯氢硅和四氯化硅还原为高品位的单晶硅,最终析出粉末状的多
晶硅。
2.在多晶硅生产的三氯氢硅氢化(流化床法)工艺中,最常用的还原剂是?
A.氢气(H2)
B.氧气(02)
C.氮气(N2)
答案:A
解析:氢化反应是将SiHCI3与H2按
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