CN119876913A 一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备 (湖南顶立科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-13 发布于重庆
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CN119876913A 一种适用于板状工件的化学气相沉积工艺及设备 (湖南顶立科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119876913A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411880107.X

(22)申请日2024.12.19

(71)申请人湖南顶立科技股份有限公司

地址410000湖南省长沙市中国(湖南)自

由贸易试验区长沙片区星沙产业基地

(长龙街道)凉塘东路1271号

(72)发明人胡祥龙赵焕魏巍戴煜

胡高健唐佩隧谭时雨刘琦

(74)专利代理机构深圳和睿宏景知识产权代理

有限公司44836

专利代理师张宏杰

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

C23C16/455(2006.01

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