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第三章扫描电子显微镜;1.扫描电镜的优点;OpticalMicroscopeVSSEM;2.电子束与固体样品作用时产生的信号;2.1弹性散射和非弹性散射;SEM中的三种主要信号;SEM中的三种主要信号;其他信号;2.3各种信号的深度和区域大小;3.扫描电镜的工作原理;4.扫描电子显微镜的构造;电子光学系统;电子枪;信号收集及显示系统;真空系统和电源系统;5.扫描电镜衬度像;二次电子产额δ与二次电子束与试样表面法向夹角有关，δ∝1/cosθ。

因为随着θ角增大，入射电子束作用体积更靠近表面层，作用体积内产生的大量自由电子离开表层的机会增多；其次随θ角的增加，总轨迹增长，引起价电子电离的机会增多。;（a）陶瓷烧结体的表面图像（b）多孔硅的剖面图;5.2背散射电子像;两种图像的对比;对有些既要进行形貌观察又要进行成分分析的样品，将左右两个检测器各自得到的电信号进行电路上的加减处理，便能得到单一信息。

对于原子序数信息来说，进入左右两个检测器的信号，其大小和极性相同，而对于形貌信息，两个检测器得到的信号绝对值相同，其极性恰恰相反。

将检测器得到的信号相加，能得到反映样品原子序数的信息；相减能得到形貌信息。;背散射电子探头采集的成分像（a）和形貌像（b）;6.扫描电子显微镜的主要性能;6.1分辨率;6.2景深;7.样品制备;;8.扫描电镜应用实例;10