CN119762830A 一种晶圆缺陷监控分类方法、系统、计算机及存储介质 （江西兆驰半导体有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119762830A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202410679200.8

(22)申请日2024.05.29

(71)申请人江西兆驰半导体有限公司

地址330000江西省南昌市高新技术产业

开发区天祥北大道1717号

(72)发明人黄永芳王晓明赵晓明董国庆文国昇金从龙

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201

专利代理师朱宇华

(51)Int.Cl.

G06V10/764(2022.01)

G06V10/774(2022.01)

G06V10/82(2022.01)

G06V10/22(2022.01)

G06V10/30(2022.01)

G06N3/0464(2023.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

一种晶圆缺陷监控分类方法、系统、计算机

及存储介质

(57)摘要

CN119762830A本发明提供一种晶圆缺陷监控分类方法、系统、计算机及存储介质，该方法包括以下步骤：提供第一已分类样本集，并设定卡控指标；生成对应的晶粒分布图；对各晶粒分布图中的缺陷区域进行框选定位，并基于缺陷分类参数通过卷积网络深度学习模型对图像中的缺陷特征进行学习训