原创力文档MEMS热电偶传热模拟仿真分析案例
目录
TOC\o1-3\h\u28570MEMS热电偶传热模拟仿真分析案例 1
275971.1MEMS热电偶结构设计和材料选择 1
224091.2薄膜热电偶的传热模拟 3
119111.3MEMS热电偶的制作工艺流程 10
269871.3.1薄膜的制备 10
35411.3.2退火工艺对薄膜热电偶的影响 15
90241.3.3保护层的制备和研究 18
54301.4薄膜温度传感器的封装结构 20
1.1MEMS热电偶结构设计和材料选择
为了满足极端环境下快速高温测试的需求，要求
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