CN119768558A 用于平面衬底的非沉浸式湿式化学处理的设备与方法及用于保持衬底的装置 （德国艾托特克有限两合公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119768558A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202380061918.4

(22)申请日2023.08.24

(30)优先权数据82022.08.29EP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.02.25

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2023/0732662023.08.24

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/046870EN2024.03.07

(71)申请人德国艾托特克有限两合公司地址德国柏林

(72)发明人B·舍勒R·维恩豪C·席尔默M·基尔O·洛伦茨张敦

F·高尔

(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287

专利代理师林斯凯

(51)Int.Cl.

C23G3/02(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

B08B3/04(2006.01)

B05C5/02(2006.01)

B05C13/02(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

B05C5/00(2006.01)

C25D17/06(2006.01)

权利要求书2页说明书23页附图15页

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