CN119774545A 一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法 （浙江芯动科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119774545A

(43)申请公布日2025.04.08

(21)申请号202510280273.4

(22)申请日2025.03.11

(71)申请人浙江芯动科技有限公司

地址314006浙江省嘉兴市南湖区大桥镇

汇信路350号2号楼1层101室

(72)发明人刘立岳刘聪

(74)专利代理机构嘉兴嘉科嘉创专利代理事务所(普通合伙)33348

专利代理师杨志

(51)Int.Cl.

B81C3/00(2006.01)

G05B11/42(2006.01)

B81C99/00(2010.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方

法

(57)摘要

CN119774545A本发明涉及MEMS制造的技术领域，它涉及一种用于阳极键合工艺的动态电压控制方法，将初始电压值设为固定电压值的50%_70%，实时监测键合界面电阻值、界面温度场分布及局部应力变化；根据界面电阻下降速率与温度梯度进行电压层级响应：将模糊PID与滑模变结构控制融合，根据电流密度偏差和温度超调量动态调整控制参数，使电压输出纹波小于±0.5%，若电极局部温度超过材料耐受阈值的90%，激活逆向电压脉冲序列，抵消离子迁移惯性，并重新初始化当前调控