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电容式传感器测量电路的噪声分析基本理论基础概述

1.1电容式传感器测量电路概论

1.1.1电容传感器工作原理

电容传感器是将各种被传感量例如位移、气体、流量和液位等等的变化转换成电容式敏感元件电容值的变化，然后通过电容式传感器的测量电路将电容值的变化转换为电参量的变化后输出的一类传感器。在多数场合下，电容是由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的，如果不考虑边缘效应，可近似认为电容传感器是一个具有可变参数的电容器,其电容量为。

公式里，表示电容极板间介质的介电常数，S表示两平行板所覆盖的面积，D表示两平行板间的距离。当被测量的非电量变化使得式中某一参数发生变化时，电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅仅变化其中一个参数，就可以把该参数的变化转换成电容量C的变化。通过检测电路将其转换为有用的信号输出，据此就可以知道被测量参数的情况。

其中，根据改变电容器参数的不同，电容式传感器分为变极距式、变面积式和变介质式，。其中变间距式传感器的输入量与输出电容在位移变化很小时成线性关系,多用于测量微小的线位移或由于压力、振动等引起的极距变化；变面积式传感器则适合于测量较大的位移或角位移；变介电常数式传感器多用于测量各种介质的温度、密度、湿度或液体的厚度等，其原理是极板间介电常数随温度、湿度、容量等改变时，电容量也随之发生相应的变化，从而测量介质的变化情况。

1.1.2电容传