CN119816928A 基板处理方法 （花王株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119816928A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202380063991.5

(22)申请日2023.09.05

(30)优先权数据

2022-1414832022.09.06JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.03.05

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0324102023.09.05

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/053647JA2024.03.14

(71)申请人花王株式会社

地址日本

(72)发明人村濑裕太冈崎翔太

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021

专利代理师王铭浩

(51)Int.Cl.

H01L21/308(2006.01)

H01L21/304(2006.01)

权利要求书1页说明书7页

(54)发明名称

基板处理方法

(57)摘要

CN119816928A在一个方式中，本发明提供一种可将生成的水不溶物溶解的蚀刻后的基板处理方法。在一个方式中，本发明涉及一种基板处理方法，其是对蚀刻后的基板进行处理的方法，该方法包括使用含有碱性化合物及水的pH10以上的碱性清洗剂组合物对被处理基板进行清洗的清洗工序，上述被处理基板是使用含有磷酸、硝