扫描电镜实用操作技巧详解.pptVIP

第1页;第2页;第3页;第4页;第三章

第四节扫描电镜;3.4.1扫描电镜;扫描电镜能完毕：;扫描电镜的成像原理，和透射电镜大不相似：;第9页;由三极电子枪发射出来的电子束，在加速电压作用下，经过2-3个电子透镜聚焦后，在样品表面按次序逐行进行扫描，激发样品产生各种物理信号：;第11页;这些物理信号的强度随样品表面特征而变;供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈的电源;

扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。含有一定能量的电子，当其入射固体样品时，将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，激发固体样品产生各种物理信号。;

它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子，前者是指只受到原子核单次或极少几次大角度弹性散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变化；后者主要是指受样品原子核外电子数次非弹性散射而反射回来的电子。;

它是被入射电子轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。

在样品上方装一种电子检测器来检测不同能量的电子，成果如图4-57所示。二次电子的能量比较低，普通不大于50eV；背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量E0。;第17页;

它是被吸收电子是伴随与样品中原子核或核外电子发生非弹性散射次数的增多，其能量和活动能力不断降低以致最后被样品所吸收的入射电子。