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磁控溅射洁净室管理规定

磁控溅射洁净室管理规定

一（1）磁控溅射洁净室的准入管理是保障洁净环境的首要环节。所有进入洁净室的人员必须经过严格的培训考核，掌握磁控溅射设备的基本操作规范、洁净室等级标准以及应急处理流程。人员进入前需在更衣室更换专用洁净服，包括无尘连体衣、洁净帽、口罩、手套及鞋套，确保人体皮屑、毛发及外部污染物被有效隔离。随身携带的物品如笔记本、工具等必须经过酒精擦拭或专用传递窗消毒后方可带入。禁止佩戴首饰、手表等易产生微粒的物品。进入洁净室前还需通过风淋室进行至少30秒的高压气流吹扫，进一步清除表面附着颗粒。对于外来访客或维修人员，必须由内部人员全程陪同，并严格限制活动范围，避免