流化床法颗粒硅体金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法标准化发展研究报告.docx

流化床法颗粒硅体金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法标准化发展报告

StandardizationDevelopmentReportforTestMethodforMeasuringInternalMetallicImpuritiesContentinGranularPolysiliconUsedforFluidizedBedMethodbyInductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry

摘要

随着全球能源结构转型和光伏产业的迅猛发展，颗粒硅作为新一代多晶硅产品，凭借其低成本、高效率和低能耗等优势，在半导体材料领域占据日益重要的地位。流化床法（FluidizedBedReactor,FBR）是生产颗粒硅的主流技术路线，其产品中金属杂质含量直接影响下游单晶硅棒拉制质量和最终器件性能。然而，目前国内外尚无专门针对流化床法颗粒硅体金属含量测定的统一标准，导致不同企业间检测方法差异较大，数据可比性不足。本研究基于工业和信息化部2025年第二批行业标准制修订计划（项目编号：2025-1380T-YS），由全国有色金属标准化技术委员会归口管理，乐山协鑫新能源科技有限公司牵头起草，旨在制定《流化床法颗粒硅体金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法》推荐性行业标准。本报告系统阐述了标准制定的背景意义、技术路