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通过超材料吸收器增强双材料悬臂梁焦

平面阵列的性能

1，温洋1，1*，2，2

1微电子，微纳加工重点，，100871，

2理工大学光电学院，，

本文介绍了一种新型红外（IR）焦平面阵列（FPA），通过集成超材料吸收器（MMA）

来提高其性能。该FPA由双材料悬臂梁组成，这些悬臂梁通过聚酰亚胺（PI）牺牲层工艺

在玻璃基板上制造，从而允许从背面读出光学信号。这种入射红外辐射和可见光读出的反

向配置避免了与以往工作相比由于硅基板导致的红外能量损失。为了进一步增强红外吸收，

MMA被方便地集成到FPA像素中，其中金镜作为地面层，SiNx结构层同时作为MMA的

间隔层。通过有无MMA的FPA对比测试验证了性能的提升。

A），双材料悬臂梁，超材料吸收器（MMA），聚酰亚胺，牺牲层工艺

引言

在过去几十年中，未冷却红外（IR）成像器得到了广泛的应用，包括夜间观察、生物医

学诊断、大气和安全等领域。许多传感器机制已应用于红外探测器，如电阻型

热敏电阻、热释