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工艺与制造ProcessandFabrication

集成电路制造工艺的质量管理分析

贺京峰

（贵州振华风光半导体股份有限公司，贵州550018）

摘要：阐述集成电路制造中的工艺状况，探讨集成电路制造工艺的质量管理的优化策略，包括晶圆表面

的缺陷和杂质的清洗工艺，制程参数的稳定和优化、制程控制系统的统计过程控制、设备的精度和稳定

性控制。

关键词：集成电路制造，制造工艺，制程优化，SPC。

中图分类号：TN405文章编号：1674-2583(2023)11-0028-02

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2023.11.011

文献引用格式：贺京峰.集成电路制造工艺的质量管理分析[J].集成电路应用,2023,40(11):28-29.

AnalysisofQualityManagementinIntegratedCircuit

ManufacturingProcesses

HEJingfeng

(GuizhouZhenhuaFengguangSemiconductorCo.,Ltd.,Guizhou550018,China.)

Abstract—Thispaperdescribestheprocessstatusinintegratedc