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证券研究报告行业深度报告

双重国产替代趋势叠加，半导体设备零部件市场星辰大海

——半导体设备系列报告

发布日期：2026年2月

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核心观点

•半导体设备零部件板块正处于双重自主可控趋势叠加的背景下：一方面AI驱动下游扩产景气周期开

启，中国大陆半导体设备整机端要求自主可控，设备端国产化率提升背景下，零部件市场整体空间

打开；另一方面，关键零部件整体国产化率偏低，高端产品国产替代尚处于早期。建议关注①低国

产化率品类的国产替代与突破进展；②国产化进展顺畅品类的快速放量带动上市公司业绩改善。

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摘要

半导体设备零部件空间广阔，海外限制下国产替代加速推进

•集成电路上游核心环节，零部件技术进步推动设备制程提升。半导体设备精密零部件行业是半导体设备行业的支撑，