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激光刻蚀技术的原理和应用研究文献综述

自从1960年以来，激光技术与计算机、半导体、原子能共同组成了20世纪的四大发明，光学技术越来越频繁应用于世界制造业与工业，与正常的机械加工工艺相比较，激光加工更为高效、准确、精密，随着互联网时代的到来，人们对电子设备的需求量与日俱增，激光技术对于电子器件加工的重要性更为凸显，激光烧蚀的原理是利用了激光的能量集中性、能量强度高等优点改变材料表面结构，从而拥有某种特殊性质，广泛用于批量生产、宏观结构的设计与制作。由于激光的辐射性强，能量高强度且集中，受光物质由于巨大冲击力与热量瞬间熔化或气化，在接触表面形成坑，而气化的气态物质又会在空气冷却后在坑周围凝固，这