CN119388315A 一种化学机械抛光方法、装置及存储介质 （杭州富芯半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119388315A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411766450.1

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人杭州富芯半导体有限公司

地址311418浙江省杭州市富阳区灵桥镇

滨富大道135号（滨富合作区）

(72)发明人王全胜张士林刘起佘桃慈

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师方秀琴

(51)Int.Cl.

B24B37/04(2012.01)

B24B37/005(2012.01)

B24B37/013(2012.01)

B24B49/16(2006.01)