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电容式传感器

电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测物理量或机械量转换

成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传

感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。

最常用的是平行板型电容器或圆筒型电容器。[1]

中文名；电容式传感器；外文名capacitivetypetransducer

电容计算公式：εS/d

应用：测量

简介

70年代末以来，随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的

电容式传感器。这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得

到克服。电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。

典型的电容式传感器由上下电极、绝缘体和衬底构成。当薄膜受压力作用时，薄

膜会发生一定的变形，因此，上下电极之间的距离发生一定的变化，从而使电容发生

变化。但电容式压力传感器的电容与上下电极之间的距离的关系是非线性关系，因此，

要用具有补偿功能的测量电路对输出电容进行非线性补偿。

原理电容式传感器也常常被人们称为电容式物位计，电容式物位计的电容检测元件是

根据圆筒形电容器原理进行工作的，电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电

极组成，在两筒之间充以介电常数为ε的电解质时，