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- 2026-07-22 发布于四川
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- | 2026-07-02 颁布
- | 2027-02-01 实施
ICS31.080.99
CCSL59
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT477672026IEC62047-422022
微机电系统()技术压电微悬
MEMS
臂梁机电转换特性的测试方法
—
Micro-electromechanicalsstemstechnoloMeasurementmethodsof
ygy
electro-mechanicalconversioncharacteristicsofiezoelectricMEMScantilever
p
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