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固定源排放——能源密集型工业中温室气体排放的测定——第7部分：半导体和显示器工业标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Stationarysourceemissions—Determinationofgreenhousegasemissionsinenergy-intensiveindustries—Part7:Semiconductoranddisplayindustries

摘要

全球气候变化已成为人类社会面临的最严峻挑战之一，减少温室气体（GHG）排放是各国共同的责任。半导体与显示器工业作为现代信息产业的核心支柱，其生产过程中使用的全氟碳化物（PFCs）、氢氟碳化物（HFCs）、三氟化氮（NF?）及六氟化钨（WF?）等工艺气体，具有极高的全球变暖潜能值（GWP），使得该行业成为能源密集型工业中需要重点关注及管控的温室气体排放源。然而，长期以来该领域缺乏一部统一、精确、可比的国际测定标准。在此背景下，国际标准化组织（ISO）于2024年2月9日正式发布了ISO19694-7:2024《固定源排放——能源密集型工业中温室气体排放的测定——第7部分：半导体和显示器工业》。本报告旨在系统梳理该标准的立项背景、核心技术内容、关键意义及未来展望。报告指出，该标准首次为半导体及显示器行业提供了从排放源