传感器与检测技术（第2版）：光栅式传感器PPT教学课件.pptxVIP

项目10光栅式传感器

目录/CONTENTS10.3光栅式传感器的应用0310.1光栅式传感器的结构0110.2光栅式传感器的工作原理02

项目分析光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件。光栅实物图及光栅刻线如图1O.1所示。精制的光栅,在1cm宽度内有几千条乃至上万条刻痕。扫一扫光栅的种类很多，按用途可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅利用的是光的衍射现象，用于光谱分析和光波波长的测定；计量光栅利用的是光的透射和反射现象，主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量的测量。计量光栅分辨率高，适用于动态测量。下面就计量光栅的结构和原理进行分析介绍。

1.了解光栅式传感器的结构及工作原理。2.掌握光栅式传感器的应用。学习目标

光栅式传感器的结构10.1

10.1光栅式传感器的结构计量光栅按光的走向可分为透射式光栅和反射式光栅两类。透射式光栅通常是在光学玻璃表面上按一定间隔制成透光和不透光的条纹，如图10.2(a)所示;反射式光栅是在金属光洁的表面上用化学方法按一定间隔制成全反射和漫反射的条纹，如图10.2(b)所示。扫一扫扫一扫扫一扫

10.1光栅式传感器的结构光栅副是光栅式传感器的重要组成部分由光栅(标尺主光栅)和指示光栅组成，其结构如图10.3所示。?

光栅式传感器的工作原理10.2

10.2光栅式传感器的工作原理10.