ISOTS 251382025 表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜标准立项发展报告.docx

*

表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—AnalysisofMetalOxideFilmsbyGlowDischargeOpticalEmissionSpectrometry

摘要

本报告围绕国际标准ISO/TS25138:2025《表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜》展开深度分析。该标准由国际标准化组织（ISO）发布，旨在规范利用辉光放电发射光谱（GD-OES）技