CN120259268A 晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机程序产品 (深圳市新凯来工业机器有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-03 发布于重庆
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CN120259268A 晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机程序产品 (深圳市新凯来工业机器有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120259268A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510416196.0

(22)申请日2025.04.02

(71)申请人深圳市新凯来工业机器有限公司

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