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SnO2薄膜的研究与应用综述

SnO2薄膜具有与玻璃衬底附着力强、高导电率、高透光度、耐高温和耐腐蚀的化学稳定性等优点，这些优点使其具有非常高的研究价值和应用价值，特别是SnO2薄膜的化学性能稳定，吸引着不少学者为此研究。但是SnO2薄膜的电导性能等方面与其他制备技术先进的薄膜材料之间有一定距离，因而限制了SnO2薄膜的研究深入和应用。截止今日，SnO2薄膜作为功能材料已广泛应用于许多先进的领域，日益受到人们的重视，以下将简单介绍几个SnO2具有代表性的应用领域。

1.1气敏传感器

SnO2是目前最常见的气敏材料之一，它具有工作温度范围广、选择性多和灵敏度高等优势，被广泛用于制备各种气敏传感器的敏感器件[27,28]。气敏传感器作为传感器领域的重要组成部分，不仅广泛应用于对各种有毒有害及挥发性气体的检测，还被应用于对温室效应和大气污染的监控。除此之外，气敏传感器还在生物医学领域发挥了重要作用，气敏传感器可以通过检测病人呼出气体的成分及浓度来诊断病情，实现疾病诊断和生理检测[29,30]。

气敏传感器的示意图如图1.2所示：

检测气体电信号

检测气体

电信号

敏感元件

敏感芯片

转化电路

Fig.1.2Schematicdiagramofthegas-sensitivesensor

对于易发生氧化还原反应的气体（如