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- 2026-08-11 发布于浙江
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AccuratedryetchingtechniqueforphotoresistmaskandspincoatedontotheGesurface.Lineandspace
germaniumwaveguidebyusingCHF3periodicpatternsformingthewaveguidestructureweredefinedand
basedinductivelycoupledplasmadevelopedusingaphotoresistdeveloper.Waveguidestructureswith
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