ISOTR 23247-100：2025 自动化系统和集成 制造用数字孪生框架 第100部分半导体晶锭生长过程管理用例标准立项发展报告.docx

自动化系统和集成制造用数字孪生框架第100部分：半导体晶锭生长过程管理用例标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:AutomationSystemsandIntegration—DigitalTwinFrameworkforManufacturing—Part100:UseCaseonManagementofSemiconductorIngotGrowthProcess

摘要

随着全球半导体产业的迅猛发展以及智能制造战略的深入推进，数字孪生技术作为实现物理世界与信息世界深度融合的关键使能技术，正加