GBT 46699-2025 电子级四甲基硅烷标准立项发展报告.docxVIP

电子级四甲基硅烷标准化发展报告

英文标题

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeTetramethylsilane

摘要

关键词

电子级四甲基硅烷；电子特气；标准化；GB/T46699-2025；半导体材料；化学气相沉积；杂质控制；低介电常数薄膜

Keywords:ElectronicGradeTetramethylsilane;ElectronicSpecialtyGas;Standardization;GB/T46699-2025;SemiconductorMaterial;ChemicalVaporDeposition(CVD);ImpurityControl;Low-kDielectricFilm

正文

1.引言

电子特种气体（简称“电子特气”）是集成电路、平板显示、光伏电池等电子信息产业制造过程中不可或缺的关键原材料，其品质直接影响芯片的性能、良率和可靠性。其中，四甲基硅烷作为重要的有机硅源前驱体，因其独特的热稳定性和反应活性，在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺中被广泛用于沉积低介电常数（Low-k）介电薄膜，以减小互连延迟（RC延迟）。然而，传统的工业级四甲基硅烷含有较高的金属杂质、水分及有机物异构体，无法满足先进制程对薄膜均匀性和电性能的苛刻要求。