ISOTS 2：2025 表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜标准立项发展报告.docx

表面化学分析——辉光放电发射光谱法分析金属氧化物薄膜标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SurfaceChemicalAnalysis—AnalysisofMetalOxideFilmsbyGlowDischargeOpticalEmissionSpectrometry

报告编号：ISO/TS25138:2025

发布日期：2025年2月20日

摘要

随着新能源、电子信息、航空航天及高端装备制造等战略性新兴产业的快速发展，金属氧化物薄膜材料因其独特的光学、电学和化学性能，在功能器件、防护涂层、催化材料及半导体制