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防静电车间穿戴操作指导书

1适用范围

本操作指导书适用于所有静电敏感作业车间，包括半导体晶圆制造、芯片封装、电子元器件生产、SMT贴片加工、精密光学组件组装、光伏电池片生产等对静电防护有要求的生产区域，覆盖所有进入防静电车间的人员，包括生产作业人员、管理人员、维保人员、质检人员、访客、第三方施工人员等，适用于ESD防护等级0级（敏感电压100V）、1级（100V≤敏感电压1000V）、2级（1000V≤敏感电压4000V）、3级（敏感电压≥4000V）全等级防静电区域的穿戴管理，所有进入防静电区域的人员必须严格执行本指导书要求。

2规范性引用文件

本指导书依据以下现行有效标准编制，所有要求均符合标准规定：

GB12014-2009《防静电工作服》

GB/T18153-2000《静电安全规程电子器件生产场所》

SJ/T10694-2006《电子制造业静电防护通则》

SJ/T10147-1991《防静电鞋、导电鞋技术要求》

ANSI/ESDS20.20-2014《静电放电防护控制程序》

3术语与定义

3.1ESD：静电放电，指不同电势的物体之间发生的电荷转移现象，是造成静电敏感器件损坏的主要原因。

3.2SSD：静电敏感器件，指对静电放电敏感，容易被静电损坏的电子元器件、精密组件等。

3.3表面电阻率：指表征物体表面导电性能的物理量，单位为Ω，本指导书