《铜铟镓硒CIGS 薄膜太阳电池的制备方法综述》2400字.docx

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铜铟镓硒CIGS薄膜太阳电池的制备方法综述

经过几十年的发展，CIGS薄膜太阳能电池的制备工艺日趋完善，主要可以分为真空法和非真空法两种。真空法包括共蒸发法和溅射后硒化法，使用这两种方法分别得到了转换效率为22.6%和23.35%的高效CIGS太阳电池。其中，共蒸发法是将铜、铟、镓、硒四种元素蒸发到400℃左右的衬底上，可以通过控制元素的蒸发速率来控制CIGS薄膜内各元素含量及分布；溅射后硒化法则是首先用溅射方法制备不含硒的预制层，再将预制层放入硒气氛中进行热退火。虽然利用真空法可以得到较好的器件效率，但由于其普遍工艺要求、设备维护成本较高，在产业化发展方面形成阻碍。因