CN119845546A 相位测量系统及超透镜检测方法 （长春长光华大智造测序设备有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119845546A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202311337007.8

(22)申请日2023.10.16

(71)申请人长春长光华大智造测序设备有限公司

地址130000吉林省长春市长春经济技术

开发区自由大路7691号光电信息产业园一期6号办公楼

(72)发明人陈新东李威翰苗亮张鑫考红旭王智豪

(74)专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司44205

专利代理师陈均钦

(51)Int.Cl.

G01M11/02(2006.01)

G01M11/04(2006.01)

G01B9/02015(2022.01)

权利要求书2页说明书10页附图6页

(54)发明名称

相位测量系统及超透镜检测方法

(57)摘要

CN119845546A本发明公开了一种相位测量系统及超透镜检测方法，属于超透镜波前检测方法技术领域，其中，相位测量系统包括光源、分光镜、缩束器、分束镜、检测光学组件和图像采集装置，分束镜用于将经过缩束器的探测光线分为参考光束和检测光束，检测光学组件包括物镜及检测平台，检测平台用于支撑待检测光学元件或参考元件，图像采集装置用于根据第一检测光束与参考光束生成第一像差信号，以及根据第二检测光束与参考光束