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课题相关背景介绍ZAO（ZnO掺杂Al2O3)是一种透明导电氧化物材料（简称TCO：TransparentconductiveOxide)目前TCO薄膜材料的主流产品是ITO（氧化铟掺杂氧化锡)TCO薄膜广阔的市场前景透明电极1）平面显示器。（LCD、ELD、ECD）

2）摄像元件。3）太阳能电池的窗电极。4）图象传感器。5）利用液晶的遮光玻璃。6）输入画面用开关：接触式画屏。防静电膜仪表的窗口。面发热膜1）防雾防霜用玻璃。2）取暖用嵌板散热器。红外线反射膜1）节能用红外线遮断膜。2）电炉、干燥箱的观测孔。选择透射膜太阳光聚热器。电磁波屏避ZAO薄膜的优势（相对于ITO)透明导电薄膜市场巨大，ITO（铟锡氧化物)独霸天下，但有致命弱点：成本高

铟是稀有金属；靶材难以烧结，制靶成本高。与ITO相比，ZAO具有明显的优点：

1)低廉成本;

2)无毒；

3)在氢等离子环境中有更好的稳定性；

4)在室温制备薄膜条件下，薄膜性能比

ITO优异。ZAO是ITO的理想替代品。TCO薄膜的制备工艺流程薄膜的制备方法有很多种,对于导电薄膜常用磁控溅射的方法。原料粉体－压制成型－烧结成靶材－磁控溅射成膜工艺路线的选择ITO靶材的工艺路线:

粉体－冷等静压－热等静压从