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多弧离子镀制备纳米多层TiAlSiN涂层的性能研究

邹伶俐

（厦门金鹭特种合金有限公司，福建厦门361100）

摘要：采用多靶阴极电弧离子镀系统在硬质合金基体上沉积纳米多层结构的

摘要：采用多靶阴极电弧离子镀系统在硬质合金基体上沉积纳米多层结构的TiAlSiN硬质涂层，该结构是通过TiAlN涂层与

TiSiN涂层的交替叠加而制备的。实验同时制备了TiAlN涂层、TiAlSiN单层涂层与纳米多层涂层进行性能对比分析，用扫描电镜（SEM）、EDS对涂层结构形貌及成分进行了分析，用划痕法和纳米压痕法分别对涂层的结合力与纳米硬度进行了测试，同时也测试了涂层在不锈钢车削上的性能表现。结果表明，TiAlSiN纳米多层涂层硬度高达3GPa，同时在不锈钢车削上以TiAlSiN纳米多层涂层性能最优，而TiAlSiN单层涂层性能最差。

关键词：TiAlSiN；TiAlN；纳米多层涂层；不锈钢

中图分类号:TG174.444；TG711 文献标志码:A文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园员8）08原园098原园3

（XiamenGoldenEgretSpecialAlloyCo.,Ltd.,Xiamen361006,China）

Abstract:Anano-mult