微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计.pdfVIP

·72·《测控技术~2017年第36卷第6期

微纳加工中高精度环境温度控制系统的设计

姚龙隆，陈晓荣，杨海马，涂建坤，陈成

(1．上海理工大学光电信息与计算机工程学院，上海200093；2．上海电缆研究所，上海200093)

摘要：统计表明，在微纳加工领域中，由于热变形引起的误差占总误差的40％一70％，已经成为制约微

纳加工发展的主要因素之一。本系统采用基于PLC的增量式数字PID控制方法，实现对微纳加工控制

过程中环境温度的高精度控制。利用LabVIEW软件编程灵活的特点，设计控制系统界面，通过RS485

接口实现计算机对PLC的实时监控，保存测量数据，实时进行精度分析。经长时稳定试验，本系统可以

实现土0．05℃／24h的控制精度(24h内温度波动不超过±0．05℃)，满足高精度加工系统的温度控制

需求。

关键词：微纳加工；高精度；增量式PID

中图分类号：TP273文献标识码：A文章编号：1000—8829(2017)06—0072—04