电池片烧结工序参数规范.docxVIP

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  • 2026-09-12 发布于四川
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电池片烧结工序参数规范

烧结工序是电池片生产中的关键环节,其参数设置直接决定了电池片的电性能、外观质量及最终转换效率。该工序通过高温热处理,使丝网印刷在硅片上的电极浆料中的有机溶剂挥发、树脂分解,同时金属颗粒熔融并与硅片形成良好的欧姆接触,从而完成电极的制备。一个稳定、优化的烧结工艺,是保障电池片性能一致性与可靠性的基石。

本规范旨在系统阐述电池片烧结工序的核心参数体系、控制要点、异常分析及优化方向,为工艺工程师与现场操作人员提供详尽、可执行的指导。

一、烧结工艺基本原理与流程概述

烧结的本质是一个受热动力学控制的过程。浆料中的玻璃粉在特定温度下熔融,能够腐蚀硅片表面的减反射层(如SiNx)和极薄的氧化层,为金属银(正面)或铝(背面)的渗透提供通道。随后,银或铝在高温下与硅形成合金,冷却后形成牢固的、导电性良好的金属-半导体接触。

典型链式烧结炉的工艺流程可分为四个功能明确的温区:

1.预热区:硅片从室温缓慢升温至300-450°C。此阶段主要目的是使浆料中的有机溶剂平稳挥发,避免因挥发过快导致浆料起泡、剥落或产生“火山口”等缺陷。升温速率需平缓。

2.燃烧区:温度范围通常在450-550°C。此阶段浆料中的树脂粘合剂(聚合物)发生热分解和燃烧,被彻底去除。充分的氧气供应对此过程至关重要。

3.高温烧结区:这是最核心的区域,峰值温度(PeakTemperature)通常设置在7

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