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2026年微电子机械系统试题及解析

一、单项选择题（共10题，每题1分，共10分）

以下关于微电子机械系统（MEMS）的核心定义描述准确的是

A.完全由纯电路结构组成的微型电子设备

B.融合微加工技术实现的集微传感器、微执行器、信号处理电路于一体的微尺度系统

C.尺寸在毫米级以上的常规机械系统的小型化版本

D.仅用于生物医疗领域的特殊微纳材料制品

答案：B

解析：正确选项B完全符合MEMS的官方定义，核心覆盖了微加工、机电融合的核心特征。选项A错误，MEMS必须包含机械结构部分，并非纯电子设备；选项C错误，MEMS的特征尺寸普遍在微米甚至纳米级别，远小于毫米级常规小型机械；选项D错误，