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特种气体系统工程技术规范

1总则

1.0.1为规范特种气体系统工程的设计、施工、验收及运行维护，保障系统安全、稳定、可靠运行，防范特种气体泄漏、燃爆、中毒、腐蚀等安全风险，保护人员生命健康与财产安全，满足电子半导体、生物医药、新材料、高端装备制造等行业对特种气体的使用需求，制定本规范。

1.0.2本规范适用于新建、改建、扩建的特种气体系统工程，涵盖特种气体的储存、输送、分配、使用及配套安全设施的全生命周期管理。本规范所指特种气体包括电子特种气体（掺杂气、刻蚀气、外延气、离子注入气等）、高压特种气体、剧毒/高毒气体、易燃易爆气体、强腐蚀性气体、低温液化特种气体及其他具有特殊理化性质的工业气体。

1.0.3特种气体系统工程除应符合本规范外，尚应符合《建筑设计防火规范》GB50016、《压力管道安全技术监察规程—工业管道》TSGD0001、《气瓶安全技术规程》TSG23、《半导体制造技术规范》GB51377等国家现行相关标准、规范的规定。

2术语

2.0.1特种气体：指满足特定领域使用要求，对纯度、杂质含量、充装、储存、输送有特殊要求，具有易燃、易爆、有毒、腐蚀、高压等危险特性的气体，区别于普通工业气体（氧气、氮气、氩气等）。

2.0.2特气柜（GasCabinet）：用于储存特种气体气瓶，集成压力调节、过滤、吹扫、泄漏检测、安全联锁功能的密闭式安全储存设备，是特