建筑行业洁净室内部各系统产业链及公司梳理.docxVIP

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洁净室是晶圆制造的基础设施，HVAC和高纯系统是洁净室的核心系统3

AMC影响晶圆制造的多个环节，先进制程对AMC管控更严格 3

HVAC是管控AMC的核心系统，高纯工艺系统为晶圆制造持续提供高纯介质 4

HAVC构筑厂房环境防护壁垒，滤材/设备/系统集成各产业链进行国产替代 6

过滤器为HVAC净化核心载体，滤料性能与客户认证构筑行业高壁垒

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全球FFU?过滤器格局分层，上游滤材、中游设备分步实现国产突破8

海外龙头企业：爱美克、康菲尔、日本无机 8

国内企业：再升科技、美埃科技、创元科技 9

高纯介质保障晶圆良率底线，部分环节仍存在国产化短板 13