电子厂超纯水招标文件技术规范.docx

电子厂超纯水招标文件技术规范

1项目概述

本项目为[XX电子科技有限公司]年产120万片高精密集成电路晶圆制造生产线配套超纯水系统采购及安装项目，系统设计需满足前端生产工艺用水、晶圆清洗、光刻、湿法刻蚀、化学机械抛光（CMP）等全工序用水需求，系统产水水质需达到SEMIF63-2021Grade1级标准，同时兼容未来3年生产线产能提升30%的扩容需求。项目总工期为合同签订后90日历天完成安装、调试、试运行，验收合格后交付使用，质保期自验收合格之日起不低于36个月。

2设计依据与标准

所有设备、材料、工艺设计必须严格遵循以下现行国家标准、行业规范及用户工艺要求，若标准之间存在冲突，以要