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微小目标小样本缺陷检测算法研究与实现.pdf

微小目标小样本缺陷检测算法研究与实现.pdf

    摘要

    芯片产业作为科学技术发展的基础性支撑，是推动我国制造业高端化、智能化发展

    的新质生产力，在国民经济和国家安全等领域中占据着极为关键的战略地位。芯片缺陷

    检测是守护相关领域下游产品质量控制的重要防线。芯片制造的工艺流程十分复杂，涉

    及到高精度的蚀刻、光刻等，任何工艺流程的偏差，都会导致芯片性能下降甚至报废。

    存在缺陷的芯片流入市场，不仅会对电子产品的稳定性造成威胁，甚至带来不可估量的

    损失。所以，在芯片制造行业中，芯片缺陷的高精度语义检测和分割就成了芯片制造的

    硬性要求。

    然而，芯片制

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