基于有限元分析法的陶瓷-金属封接结构改进.pdfVIP

ＶＡＣＵＵＭＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ真空电子技术

理论与设计

基于有限元分析法的陶瓷￣金属封接结构改进

徐玉茹ꎬ苏旭红ꎬ黄仁华ꎬ于志强

(北京真空电子技术研究所ꎬ北京１０００１５)

摘要:基于有限元分析法ꎬ对陶瓷￣金属封接件进行封接应力仿真分析ꎬ结果表明将封接件的直接封接结构改为挠性封接

结构ꎬ并减薄焊缝区金属件的壁厚ꎬ能使陶瓷上的最大封接应力降低３５８％ꎮ对改进结构后的封接件进行３次热循环试验ꎬ仍

－９３－１

能保持良好的气密性ꎬ漏气率不大于１×１０Ｐａｍｓꎮ

关键词:封接应力ꎻ有限元分析ꎻ陶瓷￣金属封接

中图分类号:ＴＮ１０５ꎻＴＮ１０３文献标识码:Ａ文章编号:１００２￣８９３５(２０２５)０２￣００１７￣０４

ｄｏｉ:１０１６５４０/ｊｃｎｋｉｃｎ１１￣２４８５/ｔ

Ｓｔｒｕｃ