原创力文档中文摘要
摘要
镍基高温合金凭借其优异的物理化学性能，被广泛应用于航空航天、石油化工
等领域。但其高强度、低导热系数及强化学亲和性，使得刀具在切削加工过程中承
受苛刻的高温高压作用，导致刀具快速磨损失效，严重制约了加工效率和加工质量。
为提升硬质合金刀具的切削服役性能，本文采用多靶非平衡磁控溅射技术，在硬质
合金刀具表面制备了高硬度、高耐磨的(TiZrNbMoTa)CN高熵陶瓷涂层。系统研究
了基底偏压对涂层微观结构、力学
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