GBT 46178-2025 电子级四（二甲氨基）钛标准立项发展报告.docxVIP

电子级四（二甲氨基）钛标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeTetrakis(dimethylamino)titanium

摘要

随着集成电路制造技术向纳米级节点持续推进，原子层沉积（ALD）与化学气相沉积（CVD）工艺对高纯度前驱体材料的需求日益迫切。电子级四（二甲氨基）钛（TDMAT）作为制备氮化钛（TiN）薄膜的关键前驱体，广泛应用于动态随机存取存储器（DRAM）电容电极、铜互连阻挡层及栅极金属化等核心工艺环节。然而，长期以来国内缺乏统一的电子级TDMAT产品标准，导致产品质量参差不齐、检测方法各异、下游应用适配性不足，严重制约了集成电路材料的国产化替代进程。本标准（GB/T46178-2025）由国家标准主管部门于2025年10月5日正式发布，将于2026年5月1日起实施，属电子技术专用材料分类。本标准系统规定了电子级四（二甲氨基）钛的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输及贮存等内容，确立了统一的产品质量评价体系。本报告的发布将有效规范国内市场秩序，提升国产电子级TDMAT产品的国际竞争力，为我国集成电路材料产业链自主可控提供重要标准支撑。

关键词：电子级四（二甲氨基）钛；原子层沉积；氮化钛薄膜；前驱体材料；集成电路；国家标准；标准化

Keywords:Electronic