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电容式微型机械超声换能器(CUMT)的基本原理和工作原理综述

目录

TOC\o1-3\h\u7944电容式微型机械超声换能器(CUMT)的基本原理和工作原理综述 1

3841.1CUMT基本结构 1

161281.2CUMT工作原理 1

166301.3薄膜振动模型 2

41291.4平行板电容模型 6

220591.5一阶集总参数模型 9

44491.6小结 11

1.1CUMT基本结构

CUMT通常由几个微小振动单元并联所构成。该单元是CUMT的最小组成单元，称为微元。其中，组成振元的基础单位为CUMT微元横截面如图所示为2-1，它是由金属材料上阴极、震动薄层、边缘支承柱、封闭的零点五真空腔室、绝缘保护层，以及掺杂硼离子溶液的硅衬底等部门所组成。其构造与电容相似，但金属材料上阴极与掺杂硼离子溶液的硅衬底区别只能等价于电容的上极板，而震动薄层、真空腔室、绝缘保护层则近似地等价于电容上极板之间的缝隙。绝缘保护层一方面能够防止覆膜塌陷或腔间被打破后上下高压电极碰撞而引起短路的现象，一方面能够成为牺牲层刻蚀的停止层，保证元件不被破坏REF_Ref101628025\r\h[14]。采用封闭的真空腔间是为了防止CMUT微元受外部环境的影响，产生电能损失，影响元件