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电子气体四氟化硅

Electronicgas—Silicontetrafluoride

电子气体四氟化硅

1范围

本文件规定了四氟化硅的技术要求采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的试验方法。

本文件适用于以二氧化硅与氟化氢为原料制备或六氟硅酸钠分解制备或氟硅酸分解制备的四氟化硅。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

相关标准危险货物包装标志

相关标准纯氦、高纯氦和超纯氦

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相关标准电子气体中酸度