300mm硅外延片 标准规范类.docxVIP

300mm硅外延片

300mmsiliconepitaxialwafers

1范围

本文件规定了直径300mm硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于在直径300mm硅抛光片衬底上生长的硅外延片。产品用于制作线宽14nm及以上集成电路和分立器件。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

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