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光学薄膜技术（第4版）课件 6光学薄膜特性测试与分析.ppt

光学薄膜技术（第4版）课件 6光学薄膜特性测试与分析.ppt

    薄膜技术潘永强教授*第六章光学薄膜特性测试与分析*目的:1.为改进工艺提供依据；2.检验成品质量。内容:光谱透射率/光谱反射率；光学常数(n,k,d)；散射；吸收；应力；附着力；硬度；抗激光损伤阈值；结构、组分…等等。第一节透射率和反射率测量第二节薄膜光学参数测量第三节薄膜机械特性(应力、附着力）测量*光学薄膜的类型和符号*6.1薄膜透射率和反射率的测量光谱仪测量波段紫外-可见近红外分光光度计

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