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洁净系统调试风量压差洁净度检测达到设计等级措施

一、系统吹扫与预检准备

调试的成败往往取决于前期的预检与清洁度控制，未经严格吹扫的通风系统直接安装高效过滤器（HEPA），等同于将系统末端变为粉尘收集器，不仅会瞬间击穿滤芯导致报废，更会引发全系统的二次污染。

1.1系统清洁与保护

风管系统吹扫：在高效过滤器安装前，必须对送回风管路进行机械清扫与负压吸尘。利用变频风机在最高频率下运行，使管内风速≥12

洁净室围护擦拭：使用纯化水（电导率≤10μ

1.2高效过滤器（HEPA）安装检漏

检漏时机：系统吹扫完成且空吹24小时后进行。检漏时系统风量必须调整至设计送风量的100%

PAO检漏操作：优先使用聚α烯烃（PAO）发生器在HEPA上游发尘，使上游气溶胶浓度达到10μg/L至20μg/L。使用气溶胶光度计沿滤芯出风侧边缘、滤芯与安装框架接缝处进行扫描。扫描探头距滤面10mm至15mm，移动速度≤5cm/s。若不具备PAO发尘条件，则使用粒子计数器法，上游注入聚苯乙烯乳胶（PSL）小球，浓度需满足上游≥10,000粒/L（针对

泄漏判定与处理：若光度计读数超过上游浓度的0.01%

1.3仪器仪表校准与状态确认

调试所用仪器（微压计、风量罩、粒子计数器）必须在法定计量检定有效期内，且具备溯源证书。投入使用前需进行交叉比对验证：

微压