原创力文档力平衡加速度传感器原理设计
摘要：本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加
速度传感器在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理把被
测量范围等性能得到很大的提高使其在地震建筑交通航空等各领域得到广泛应用矢键词加速度差容式力平衡传感器加速度传感器是用来将加速度这一物理信号转变成便于测量的电信号的测试仪器它是工业国防等许多领域中进行冲击振动测量常用的测试仪器加速度传感器原理
测的加速度转换为电容器的电容量变化，将加速度的变化转变为电压值。使传感
器的灵敏度、非线性、测量范围等
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