一种InAs⁄GaSb超晶格红外探测器及其制作方法.pdfVIP

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  • 2026-10-21 发布于江苏
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一种InAs⁄GaSb超晶格红外探测器及其制作方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN108133970B

(45)授权公告日

2020.04.28

(21)申请号201711065363.3H01L31/0352(2006.01)

H01L31/18(2006.01)

(22)申请日2017.11.02

审查员邢磊

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN108133970A

(43)申请公布日2018.06.08

(73)专利权人武汉高芯

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